名古屋大学シンクロトロン光研究センター

Nagoya University Synchrotron radiation Research center

BL5S2 - 総合材料評価 I (X線回折)

ビームライン概要

粉末X線回折測定により,粉末や薄膜の結晶構造解析を実施する.

研究利用分野

材料の評価・合成試料の同定や,試料合成のその場観察.結晶性の評価や粒径サイズの評価.薄膜の配向性,エピタキシャル性の評価,多層膜構造の決定.

ビームライン性能(計算値)

光エネルギー
5〜20 keV (0.25〜0.06 nm)
ビームサイズ
0.40 mm×0.14 mm
分解能 (E/ΔE)
7000
光子数
1×1011 Photons/sec

測定装置仕様,特徴

カメラ半径286 mmのデバイシェラーカメラに,幅350mm×縦400mmのイメージングプレート(IP)と二次元半導体検出器(PILATUS 100K)を備え,高分解能測定と高速データ収集を可能とする.通常の試料軸の他に高速回転のスピナーと薄膜用アタッチメントを装備する.

90K~1000Kの高低温吹きつけ装置(窒素ガス式)を備える.SPring-8 産業利用ビームラインと同等の試料自動チェンジャーを装備し,多数の測定試料の連続自動測定も可能とする.

ビームライン及び測定装置概略図

ビームライン概略図
測定装置外観

(参考) 他施設の類似ビームライン

SPring-8
BL02B2, BL19B2
Photon Factory
BL1A, BL1B